設(shè)備特點：
·全自動配液、補液液系統(tǒng)，無需人工干預(yù)，保證藥液性能的一致性。
·藥水桶具有排放口一個通過氣動隔膜閥進行幵閉，避免人員操作發(fā)生危險。
·藥水桶具有液位檢測系統(tǒng)，待藥水桶中液位達到某一值時自動報警，提示操作人員排放藥液。
·藥箱藥水檢測裝置易拆裝，安裝靈活。
·配置專門廢液桶用于儲存設(shè)備中通過特定管路輸送過來的廢液。
·設(shè)備具備管路清洗功能與自循環(huán)功能。
·設(shè)備安全性能高，設(shè)備在防漏液、加熱、漏電等方面都做了嚴格的設(shè)計，確保人身和廠務(wù)安全。
·多級別用戶工藝數(shù)據(jù)庫，可供用戶使用和存儲。
·客制化設(shè)計能力佳，高設(shè)計能力滿足客戶制程工藝需要。
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